高温高湿动态反偏老化测试系统(DH3TRB2000)

试验温度

室温+10℃ ~+150℃

试验湿度

10%RH~98%RH

试验方法

VGS, off = VGS, min，VGS, on = VGS, max

老化试验区

14区（14/16区 可选）

单位工位

6（典型）

试验电压

50V ~ 1000V

电压检测精度

检测误差：±(2% ±1V)

脉冲控制

1. 脉冲频率（方波）：10kHz ~ 50kHz，精度：2% ± 2LSB
2. 方波占空比 20% ~ 80%，精度：±2%
3. 电压上升率 (dv/dt) ≥ 30V/ns（Coss < 300pF）
4. 电压过冲视脉冲电压幅度而定，最大不超过 10%VDS

VGS电压测试范围

被动式：-0.7V ~ -20V/0V
主动式：根据设备设定值：VGS电压：正电压 18V、20V、22V，3 种选择；负电压 -3V、-5V、-12V 任选

漏电流检测

检测范围：0.1uA ~ 20mA
精度：
第一档0.1uA ~ 0.999uA，分辨率为 0.01uA，精度：1% ± 0.02uA
第二档1.00uA ~ 99.9uA，分辨率为 0.1uA，精度：1% ± 0.2uA
第三档100uA ~ 999uA，分辨率为 1uA，精度：1% ± 2uA
第四档1.0mA ~ 20.00mA，分辨率为 0.01mA，精度：1% ± 0.2mA

整机供电

三相AC380V ±38V

整机重量

1200Kg（典型）

整机尺寸

2000mm(W)×1505mm(D)×1950mm(H)