高温偏置老化测试系统(HTXB2000)
该系统可进行室温+10℃~+200℃的高温反偏及栅偏老化测试,老化过程中实时监测被测器件的漏电流状态、被测器件的电压状态,并根据需要记录老化试验数据,导出试验报表。
功能
- nA级别的漏电流检测精度
- 整机30S的全工位数据刷新
- 独特高压抑制电路,器件瞬间击穿不影响其他工位老化进程
- 可定制工位老化电压独立控制功能,实现单工位老化超限剔除
- 可定制正负电源,实现模块上下桥同时施加偏置电压
- 设备可自动切换HTRB、HTGB老化模式,实现一次进炉,自动完成RB/GB老化
- 充分的实验员人体安全考成设定
产品特性
试验温区 | 1个 |
试验湿度 | 室温+10℃~+200℃ |
老化试验区 | 16区 (16/32/40/48区可选) |
单区工位数 | 40 (典型) |
电压检测精度 | ±(1%±2LSB) |
电流检测范围 | 10nA-50mA |
电流检测精度 | ±(1%±10nA) |
整机供电 | 三相AC380V±38V |
最大功率 | 8KW (典型) |
整机重量 | 680Kg (典型) |
整机尺寸 | 1400mm(W)×1400mm(D)×2000mm(H) |
适用标准
AEC-Q102 AQG324 JESD22-A101
适用器件
适用于MOS管、二极管、三极管、IGBT模块、PIM模块、SiC、GaN、可控硅等