高温动态栅偏老化测试系统(DHTGB2010)
该系统针对第三代SiC MOSFET具有动态栅偏老化测试能力,每块试验区可独立老化测试12工位,独立12路可配置脉冲,测试栅极漏电流相互之间不干扰。可为器件提供室温~200°C的试验温度。具有试验器件短路脱离试验功能,可自动将故障器件脱离老化试验回路,不影响其他器件的正常试验。
功能
- 高速dv/dt>1V/ns
- nA级漏电流测试
- 阀值电压测试
- 可根据不同器件封装、功率等要求,定制专用老化测试板
- 充分的实验员人体安全考虑设定
产品特性
试验温度 | 室温~200℃(热板形式加热) |
老化测试区 | 8区(可扩容) |
单区工位 | 12(典型) |
试验方法 | VDS =0V |
VGS电压控制检测 | 试验控制范围:±30V 检测误差:±(1%±2LSB);电压分辨率:0.01V |
脉冲控制 | 1.脉冲频率(方波): 0~500kHz; 精度: 2%±2LSB (最大频率取决于电压, DUT电容) 2.方波占空比20%~80%; 精度: ±2% 3.动态DGS试验时栅极电压斜率可达dv/dt>1V/ns (Ciss<5nF) 4.电压过冲<10% (测试电压幅度大于25V) |
阀值电压VGSTH | 1..VGS电压测控范围: 1~10V (100nA~50mA恒流源) 2.分辨率为0.01V, 精度: 1%±0.01V |
IGS漏电流检测 | 检测范围: 1nA~99.9uA 第一档1nA~99nA 分辨率1nA 漏电流测量误差: 1%±2LSB 第二档100nA~999nA 分辨率10nA 漏电流测量误差: 1%±2LSB 第三档1uA~99.9uA 分辨率100nA 漏电流测量误差: 1%±2LSB |
整机供电 | 三相AC380V±38V |
整机重量 | 700Kg(典型) |
整机尺寸 | 800mm(w)x1400mm(D)x1950mm(H) |
适用标准
AEC-Q101 AQG324 JESD22-A108 JEDEC JEP183A
适用器件
适用于SiC、GaN、IGBT模块、MOS管